特許
J-GLOBAL ID：200903077605403300
MEMSスイッチ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-387669
公開番号（公開出願番号）：特開2004-311394
出願日： 2003年11月18日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】接触部とビーム間の接触の安全性が向上し、特に、ビームまたはその下部の接触部が工程誤差によって多少不均衡的に形成されたとしても、弾力的な変形を伴う接触によってこれを補償して安定した電気的スイッチングが得られるMEMSスイッチを提供する。【解決手段】基板と、前記基板の上面に形成される信号線と、静電気力によって変形されて前記信号線と電気的にスイッチングされるビームと、前記信号線に設けられ、前記ビームと電気的に接触し、外部からの力によって弾性変形するバネ型接触部と、を備えるMEMSスイッチ。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板の上面に形成される信号線と、
静電気力によって変形されて前記信号線と電気的にスイッチングされるビームと、
前記信号線に設けられ、前記ビームと電気的に接触し、外部からの力によって弾性変形するバネ型の接触部と、を備えることを特徴とするMEMSスイッチ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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マイクロリレー
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-157880
出願人：オムロン株式会社
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圧力スイッチ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-249391
出願人：セイコー電子工業株式会社
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高周波信号用スイッチを含む移相器
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-284005
出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
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