特許

J-GLOBAL ID：200903077606666924

走査型電子顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置

発明者： 井原 俊之
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-120443
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306414
出願日： 1996年05月15日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 偏向アンプの動作確認を速やかに行うことができるとともに装置構成が簡略化された走査型電子顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置を実現する。【解決手段】 走査型顕微鏡または電子ビーム露光装置のいずれかとして選択的に使用される走査型電子顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置であって、装置全体の動作を制御する主制御部と、電子ビーム露光装置として使用されるときに主制御部から送られる制御信号に応じて電子ビームの偏向状態を制御するための駆動信号を出力する偏向アンプを備えるコラム制御部と、電子顕微鏡を構成する2次電子検出器の検出信号および偏向アンプ出力を選択的に入力し、いずれかをデジタル信号に変換するA/Dコンバータと、該A/Dコンバータ出力を蓄積する画像メモリとを備えた画像記録部と、を有し、主制御部は画像メモリ出力により偏向アンプ出力を確認することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子ビームを出射する電子銃が共通とされる走査型電子顕微鏡および電子ビーム露光装置であり、走査型顕微鏡または電子ビーム露光装置のいずれかとして選択的に使用される走査型電子顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置であって、装置全体の動作を制御する主制御部と、電子ビーム露光装置として使用されるときに前記主制御部から送られる制御信号に応じて電子ビームの偏向状態を制御するための駆動信号を出力する偏向アンプを備えるコラム制御部と、電子顕微鏡を構成する2次電子検出器の検出信号および前記偏向アンプ出力を選択的に入力し、いずれかをデジタル信号に変換するA/Dコンバータと、該A/Dコンバータ出力を蓄積する画像メモリとを備えた画像記録部と、を有し、前記主制御部は前記画像メモリ出力により前記偏向アンプ出力を確認することを特徴とする走査型電子顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置。

IPC (3件)：

H01J 37/305 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01J 37/305 B ,  H01J 37/28 Z ,  H01L 21/30 541 E