セラミックヒーター

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安富康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-090834
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286046
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】長期間にわたって使用した場合にも、抵抗発熱体が酸化されることなく、抵抗発熱体と絶縁性シート又は芯材との熱膨張係数の差に起因するクラック等の発生のない耐久性に優れたセラミックヒーターを提供する。【解決手段】絶縁性シートは、Al2 O3 を88〜95重量%、焼結助剤としてSiO2 を3〜10重量%、MgOを0.4〜1.0重量%、CaOを1.0〜2.5重量%を含有する密度率が96%以上、室温〜1000°Cにおける平均熱膨張係数が6×10-6〜8×10-6°C-1の焼結体であり、抵抗発熱体は、92〜99重量%が高融点金属成分、残部がセラミック成分からなり、使用温度が300°C以上となる部分の平均厚さが15μm以上、室温〜1000°Cにおける平均熱膨張係数が3.6×10-6〜7.0×10-6°C-1の金属複合体であり、絶縁性シートと抵抗発熱体との室温〜1000°Cにおける平均熱膨張係数の差の絶縁性シートの平均熱膨張係数に対する比が40%以内のセラミックヒーター。

請求項（抜粋）：

芯材と絶縁性シートとの間に高融点金属からなる抵抗発熱体が埋設されたセラミックヒーターであって、前記絶縁性シートは、Al2 O3 を88〜95重量%、焼結助剤として、SiO2 を3〜10重量%、MgOを0.4〜1.0重量%、CaOを1.0〜2.5重量%を含有する密度率が96%以上で、室温から1000°Cにおける平均熱膨張係数が6×10-6〜8×10-6°C-1の焼結体であり、一方、前記抵抗発熱体は、92〜99重量%が高融点金属成分、残部がセラミック成分からなり、使用温度が300°C以上となる部分の平均厚さが15μm以上であり、室温から1000°Cにおける平均熱膨張係数が3.6×10-6〜7.0×10-6°C-1の金属複合体であり、さらに、前記絶縁性シートと抵抗発熱体との室温から1000°Cにおける平均熱膨張係数の差の前記絶縁性シートの平均熱膨張係数に対する比が40%以内であることを特徴とするセラミックヒーター。

IPC (6件)：

H05B 3/48 , H05B 3/10 , H05B 3/12 , H05B 3/20 310 , H05B 3/20 328 , C04B 35/10

FI (6件)：

H05B 3/48 , H05B 3/10 C , H05B 3/12 A , H05B 3/20 310 , H05B 3/20 328 , C04B 35/10 Z

Fターム (37件)：

3K034AA02 , 3K034AA03 , 3K034AA10 , 3K034AA14 , 3K034AA16 , 3K034AA22 , 3K034AA34 , 3K034BA06 , 3K034BA13 , 3K034BA14 , 3K034BB14 , 3K034BC17 , 3K034JA01 , 3K092PP16 , 3K092QA01 , 3K092QA05 , 3K092QB02 , 3K092QB30 , 3K092QB45 , 3K092QB62 , 3K092QB74 , 3K092RF03 , 3K092RF19 , 3K092RF27 , 3K092TT30 , 3K092VV09 , 4G030AA07 , 4G030AA08 , 4G030AA36 , 4G030AA37 , 4G030AA52 , 4G030AA61 , 4G030BA02 , 4G030BA12 , 4G030BA21 , 4G030CA08 , 4G030GA20

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