特許
J-GLOBAL ID：200903077628683679
ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・CVD装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218807
公開番号（公開出願番号）：特開平7-071929
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハの位置修正を速やかに簡単にしかも正確に行い、ウェーハをパーティクルを発生することなく確実に移替える。【構成】 カセット2とボート9の間で複数段に載置されているウェーハ3をツィーザ4により保持して搬送するウェーハ搬送機5に、ウェーハ検知センサ14を取付け、ウェーハ搬送機5を上下動可能にならしめる。
請求項（抜粋）：
カセット(2)とボート(9)の間で複数段に載置されているウェーハ(3)をツィーザ(4)により保持して搬送するウェーハ搬送機(5)に、ウェーハ検知センサ(14)を取付け、このウェーハ搬送機(5)を上方又は下方に移動することによりウェーハ(3)の上下の間隔(d)を測定することを特徴とするウェーハ位置検知方法。
IPC (5件)：
G01B 11/14
, H01L 21/205
, H01L 21/22 511
, H01L 21/31
, H01L 21/68
