特許
J-GLOBAL ID:200903077631118842
感光性樹脂組成物用アルカリ現像液
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
若林 邦彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-306052
公開番号(公開出願番号):特開平8-160632
出願日: 1994年12月09日
公開日(公表日): 1996年06月21日
要約:
【要約】【目的】 アルカリ現像時に発泡、スカム、スラッジの発生等を抑制でき、また、レジストの解像度、密着性等にも優れた感光性樹脂組成物用アルカリ現像液を提供する。【構成】 (a)塩基性化合物、(b)H.L.Bが0〜4の範囲の非イオン界面活性剤、(c)H.L.Bが6〜20の範囲の非イオン界面活性剤、(d)陰イオン高分子界面活性剤及び(e)水を含む感光性樹脂組成物用アルカリ現像液。
請求項(抜粋):
(a)塩基性化合物、(b)H.L.Bが0〜4の範囲の非イオン界面活性剤、(c)H.L.Bが6〜20の範囲の非イオン界面活性剤、(d)陰イオン高分子界面活性剤及び(e)水を含む感光性樹脂組成物用アルカリ現像液。
引用特許: