特許

J-GLOBAL ID：200903077643179006

絶縁用カラ-を持つトレンチコンデンサ及びその製造方法

発明者： マーティン シュレムス
出願人/特許権者： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-168324
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036578
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 半導体メモリセルで使用される改善されたトレンチコンデンサを提供すること。【解決手段】 このコンデンサーは基板に形成されたトレンチを持つ絶縁カラーを含み、前記絶縁カラーは前記トレンチの上側の領域に形成され、第1のコンデンサープレートとして前記トレンチの前記下側の領域を囲む前記基板領域内に任意的に埋め込みプレートと、コンデンサーの誘電体として、前記トレンチの前記下側の領域及び前記絶縁カラーとを裏打ちするための誘電体層と、第2のコンデンサープレートとして前記トレンチを満たす導電性の第2の充填の材料とを有し、少なくとも前記トレンチの前記下側の領域の前記直径は、前記トレンチの前記上側の領域の前記直径に等しい。さらに、本発明は対応する製法を提供する。

請求項（抜粋）：

絶縁カラー(168)を持っている、特に半導体メモリセル(100)内で使用されるトレンチコンデンサにおいて、基板(101)内に形成されたトレンチ(108)と、トレンチ(108)の上側の領域に形成された前記絶縁カラー(168)と、第1のコンデンサープレートとして、トレンチ(108)の下側の領域を囲む基板領域内に任意的に埋め込みプレート(165)と、コンデンサーの誘電体として、トレンチ(108)の下側の領域と、そして前記絶縁カラー(168)とを裏打ちする誘電体層(164)と、2番目のコンデンサープレートとして、前記トレンチ(108)内に満たされた導電性の2番目の充填材料(161)とを含んでおり、ここにおいて、前記トレンチ(108)の下側の領域の上側エッジの直径が前記トレンチ(108)の前記上側の領域の前記直径と少なくとも等しい、ことを特徴とするトレンチコンデンサ。

IPC (4件)：

H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (2件)：

H01L 27/10 625 A ,  H01L 27/04 C