特許

J-GLOBAL ID：200903077646219874

段差基板用塗布溶液

発明者： 堤 義高 ,  上村 輝久 ,  松村 光三良 ,  長谷川 正積
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-296585
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107767
出願日： 1991年10月17日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】 段差上での塗布性が良好であり、固体撮像素子、半導体集積回路素子、液晶表示素子の製造工程に共通する重要な技術課題である凹凸のある下地へ高度な平坦性を与え、かつ安全性の高い塗布溶液を提供する。【構成】 樹脂及び溶媒又は樹脂、添加剤及び溶媒からなる段差基板用塗布溶液において、溶媒の主成分が所定の一般式に示される有機化合物(特に、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート又はエチル3-エトキシプロピオネート)である段差基板用塗布溶液。

請求項（抜粋）：

樹脂及び溶媒又は樹脂、添加剤及び溶媒からなる段差基板用塗布溶液において、溶媒の主成分が下記一般式(1)又は(2)に示される有機化合物であることを特徴とする段差基板用塗布溶液。【化1】(式中、R1は水素又は-C(=O)CH3を示し、R2、R3はメチル基又はエチル基を示す。)

IPC (6件)：

G03F 7/11 502 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/302