特許

J-GLOBAL ID：200903077668036242

形状測定方法、形状測定装置および周波数コム光発生装置

発明者： 黒川 隆志 ,  田中 洋介 ,  塩田 達俊
出願人/特許権者： 国立大学法人東京農工大学
代理人 (1件)： 平石 利子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2005015309
公開番号（公開出願番号）：WO2006-019181
出願日： 2005年08月17日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：

周波数コム光発生装置を光源として使用することで、深い個所まで、かつ高い空間分解能で表皮下等の観測が可能な形状測定方法および形状測定装置、ならびに簡単な構成により、周波数間隔が可変で、かつ多数の周波数コムを発生でき、しかも動作が安定な周波数コム光発生装置を提供する。レーザー光源11と光共振器13とコム間隔調整器14と出射口OUTとを備えた周波数コム光発生装置、および距離測定用の光学干渉計を含んでなる形状測定装置であって、光共振器13は、光変調器131と、第1のミラーM11と、光変調器の光導波路の他方端から引き出された光ファイバーF13と、第2のミラーM12とを有し、コム間隔調整器14は変調信号を変化させる変調信号生成器であり、光ファイバーF13には偏光状態の変化を補償する装置(ファラデー回転ミラー)が備えられている。

請求項（抜粋）：

共振する距離を隔てて配置された第1のミラーと第2のミラーとを有する、偏光状態の変化が補償されまたは偏波保持される光ファイバーに、レーザー光源からレーザー光を前記第1のミラー側から入射するとともに、前記第1のミラーと前記第2のミラーとの間を伝播するレーザー光に変調電極を用いて変調を施すことで周波数コム光を生成し、 前記周波数コム光を、距離測定用の光学干渉計に入射し、当該光学干渉計により被測定対象について形状を測定する形状測定方法であって、 前記周波数コム光を構成する周波数コムの周波数間隔を変化させるように前記変調電極に与える変調信号を変化させることで観測深度の調整を行うことを特徴とする形状測定方法。

IPC (2件)：

G01N 21/17 ,  G01B 11/24

FI (2件)：

G01N21/17 625 ,  G01B11/24 D

Fターム (31件)：

2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC16 ,  2F065FF52 ,  2F065FF54 ,  2F065GG04 ,  2F065HH08 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065LL55 ,  2F065NN06 ,  2F065NN08 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ42 ,  2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059EE11 ,  2G059FF02 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30