特許
J-GLOBAL ID：200903077669743074
走査型プローブ顕微鏡およびそれによる品質管理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-275178
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094853
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 試料表面を観察するための探針が軽度な損傷を受けても、影響されることなく観測が可能な走査型プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 原子間力顕微鏡1Aは試料ステージ2に載置された試料ウェハ3に対して、探針としての尖針を備えたカンチレバー、電気回路を含むヘッド部4と、測定のための制御とデータ処理を行うコンピュータ処理部5が配置された従来の原子間力顕微鏡に対して、更に、試料ステージ2に標準対照片6が載置されると共に、標準対照片6を測定するための制御とデータの比較処理を行うコンピュータ処理部7が付加されている。そして、試料ウェハ3の測定の間に割り込んで標準対照片6が測定され、標準対照片6の測定値を基準として試料ウェハ3の測定値が規格化したデータとされ、探針が若干摩耗し変化しても、試料ウェハ3の良否の判定が誤りなく実行される。
請求項（抜粋）：
試料表面との間にトンネル電流が流れるようにしたトンネル電流針、またはカンチレバーの端部に設けられ前記試料表面との間に働く多様な力によって前記カンチレバーを撓ませる尖鋭な突起、更にまたは発振するニードル状の水晶振動子の端部に設けられ前記試料表面との間に働く多様な力によって前記水晶振動子の発振周波数をシフトさせる尖針などを探針として、前記試料表面構造の観察、前記試料表面の所定領域の測長、測角等の測定を行い得る走査型プローブ顕微鏡において、前記試料が載置されるステージに、表面状態が既知または前記試料と同等な標準対照片が載置されて、前記試料と前記標準対照片とが交互に測定されるか、または前記試料についての所定回数の測定毎に割り込んで前記標準対照片の測定が行われ、前記試料の測定値が前記標準対照片の測定値と比較されるようになっており、前記試料の測定値の若干の異常があって、それが前記探針の軽度の損傷によるもの、もしくは測定のバラツキの範囲内であると判断される場合には、前記若干の異常の較正が行われることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01D 3/00
G01N 37/00 A
, G01B 7/34 Z
, G01D 3/00 C
