特許

J-GLOBAL ID：200903077672374063

セラミックヒータ及びその製造方法

発明者： 末松 義朗 ,  野田 芳朗
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-082312
公開番号（公開出願番号）：特開平10-255961
出願日： 1997年03月14日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 耐久性に優れ、長時間断線することのないセラミックヒータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 Al2 O3 、SiO2 、MgO及びCaOを含むセラミックスからなる基材部と、タングステンを含む発熱抵抗体とを備えるセラミックヒータにおいて、この抵抗発熱体は、AlWO4 、Mg2 Al4 Si5 018等の結晶質の化合物を含有し、また、上記セラミックスは、その結晶粒界に、Ca3 Si2 O7 、Ca2 Al2 SiO7 等の結晶質の化合物を含有する。このようなセラミックヒータは、水素雰囲気中で、1550°Cの温度において1時間30分保持して焼成した後、ほぼ同様の雰囲気、温度に1〜3回晒す方法、或いは焼成後、900〜1200°Cの温度において2〜100時間晒す方法、言い換えれば、これらの熱処理によって得ることができる。

請求項（抜粋）：

セラミックスからなる基材部と、該基材部に担持された発熱抵抗体とを備えるセラミックヒータにおいて、上記セラミックスは、Al2 O3を主成分とし、これにSi、Mg及びCaの酸化物を含み、上記発熱抵抗体には、該発熱抵抗体を構成する金属元素とAlとを含む結晶質の化合物並びにMg、Al及びSiを含む結晶質の化合物のうちの少なくとも一方が含有されていることを特徴とするセラミックヒータ。

IPC (4件)：

H05B 3/20 328 ,  C04B 37/00 ,  C04B 41/88 ,  H01C 3/00

FI (4件)：

H05B 3/20 328 ,  C04B 37/00 A ,  C04B 41/88 A ,  H01C 3/00 W