特許
J-GLOBAL ID：200903077676353605
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 博光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-261514
公開番号（公開出願番号）：特開平9-105760
出願日： 1995年10月09日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：
【要約】【課題】 加速度センサにおいて質量部とシリコン板体との間のギャップ間隔を耐衝撃性を高め得る所定の間隔以下にできると共に、陽極接合の残留電荷により質量部とシリコン板体とが引合い固着することを、簡単な構成で効果的に防止できる加速度センサを提供する。【解決手段】 シリコンキャップ13上面13uには、縦断面形状が三角形形状の円錐体状の凸部14を異方性エッチングにより形成するものであり、前記凸部14の先端の面積は14凸部以外の底部15の面積よりも小さく形成している。
請求項（抜粋）：
シリコンセンサチップに、枠状の周縁部と、該周縁部のほぼ中央に位置した質量部支持部と、前記周縁部と該質量部支持部との間を繋ぐ薄肉部とを形成すると共に、前記質量部支持部の下面に質量部を固定し、前記周縁部の下面に質量部を囲んで台座を固定し、前記質量部下面とシリコン板体上面との間に微小ギャップを設けて前記台座下面に該シリコン板体を陽極接合により接着するものとして、加速度が加わったときの前記薄肉部に生じる歪みにより該加速度を検出する加速度センサにおいて、前記質量部下面とシリコン板体上面との少なくとも一方には、縦断面形状が台形形状または三角形形状の凸部を異方性エッチングにより形成するものであり、前記凸部の先端の面積は凸部以外のシリコン板体底部の面積よりも小さく形成していることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/12
, G01P 15/02 A
