特許
J-GLOBAL ID：200903077677107551
照明装置、位相板、検査方法、検査装置およびマスクの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大胡 典夫
, 竹花 喜久男
, 宇治 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-233254
公開番号（公開出願番号）：特開2004-070249
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：
【課題】レーザ光を被検体に均一に照明できる照明装置と位相板と、それを用いた検査装置、検査方法及びマスクの製造方法を提供すること。【解決手段】レーザ光源1の光軸上の前方に、光軸に出力側面が傾斜して所定回転数で回転する回転板2を設け、この回転板2の前方に固定位相板3を、この固定位相板3の前方にコンデンサレンズ5を設ける。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レーザ光源の光軸上の前方に、該光軸に出力側面が傾斜して配置されて所定回転数で回転する回転板と、この回転板の前方に固定位相板と、この固定位相板の前方にコンデンサレンズとを設けたことを特徴とする照明装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
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