特許
J-GLOBAL ID：200903077680653427
外観検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-247637
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110305
出願日： 1994年10月13日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】 異なる幅を有する被検査対象が複数存在しても良好な判定が行える外観検査装置を提供する。【構成】 ラジアルマッチング法を用いる外観検査装置において、許容値設定手段は、基準パターンの2値化画像データを生成する基準パターン生成手段13と、2値化画像上の任意の中心画素から複数方向に延在する各画素列内におけるパターン部分のパターン部長さを測定する基準パターン測長手段15と、複数方向の測長値から基準パターンの略中心を検出する基準パターン中心検出手段16と、基準パターンの測長値及び略中心位置に基づいて基準パターンの基準線幅を決定し、基準線幅に基づいて被検査パターンの線種を判定するための線幅許容値を設定する許容値決定手段17と、を備えて構成される。
請求項（抜粋）：
試料を撮影することにより得られた2値化画像からパターンの略中心を検出し、検出された略中心から複数方向における当該パターンの各測長値をラジアルコードに変換し、当該ラジアルコードに基づいて当該パターンの欠陥を検出する外観検出方法において、検査対象となるべきパターンの線幅許容値を設定し、前記各測長値を前記線幅許容値と比較することにより前記パターンの線種を決定し、当該決定されたパターンの線種に基づいて前記ラジアルコードを生成することを特徴とする外観検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G06T 7/00
, H05K 3/00
