特許

J-GLOBAL ID：200903077681476383

測定装置

発明者： 薙野 裕行
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-145438
公開番号（公開出願番号）：特開平7-332925
出願日： 1994年06月03日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 光源から出射されるビームの中心軸に角度ずれが存在する場合でもシェーディング補正後の光量分布においてS/N比のばらつきを少なくすることができ、均一な精度で光量分布を測定することができる測定装置を提供することである。【構成】 レーザダイオード1を投光ヘッド10に取り付けるためのホルダ8に円形のねじ孔88および長孔89を形成する。ねじ81およびねじ82をそれぞれねじ孔88および長孔89に挿入してホルダ8を投光ヘッド10の所定の箇所に取り付ける。ホルダ8をねじ孔88内のねじ81を中心として回動させることにより、レーザダイオード8の出射ビームの中心軸の方向を調整することができる。

請求項（抜粋）：

光源からの光を光学系により平行ビームとして投光する投光手段と前記平行ビームを受光して光量分布を測定する受光手段とからなる測定装置において、前記投光手段に前記光源の光出射方向を調整する調整手段を設けたことを特徴とする測定装置。