特許

J-GLOBAL ID：200903077684554830

荷電粒子線強度分布測定装置

発明者： 大谷 浩司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-295630
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146372
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【目的】 部品点数が少なく、測定時間の短い荷電粒子線強度分布測定装置を提供することを目的とする。【構成】 真空槽30内において、荷電粒子線を受けることにより電流が生じるワイヤ36a,36bを張設したモニタ38をモニタ駆動機構により荷電粒子線通過領域14に進退させる装置である。特に、同一のモニタ38に1本の第1ワイヤ36aと少なくとも1本の第2ワイヤ36bを張設し、これら第1および第2ワイヤ36a,36bを互いに交差して配置させることにより、単一のモニタ38で荷電粒子線の強度分布を測定する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線が通過する粒子線通過領域を含む真空槽と、粒子線を受けることにより電流が生じるワイヤを張設したモニタと、前記モニタを電子線通過領域に対し進退させ、この領域の複数の計測位置に前記ワイヤを位置させるモニタ駆動機構を有し、粒子線通過領域断面の強度分布を荷電粒子線強度分布測定装置において、前記ワイヤは、前記モニタの進退方向に交差する方向に張設された1本の第1ワイヤと、前記第1ワイヤと同一のモニタに、前記第1ワイヤと交差する位置に張設された少なくとも1本の第2ワイヤとを有する荷電粒子線強度分布測定装置。