特許
J-GLOBAL ID：200903077684843913
液晶表示装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-065007
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273782
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 信号配線や走査配線などの層間ショート不良に起因した点欠陥や線欠陥の問題を解消して、高い表示品位を実現することのできる液晶表示装置の製造方法を提供する。【構成】 コンタクト部13を形成すべき部分に、酸化膜11となったときに第1の金属層3の酸化膜9と比較してエッチング等に対する加工性が良好となるような第2の金属層7を特定のパターンに形成しているので、陽極酸化後にはその第2の金属層7の酸化膜11を容易に除去することができ、その除去した部分かに導電性の高い第1の金属層3を露出させてコンタクト部13を形成することができる。またそれ以外の部分は陽極酸化によって形成された緻密で絶縁性の良好な酸化膜9で被覆されているので、層間絶縁不良を効果的に抑えることができる。
請求項（抜粋）：
基板上に交差するように走査配線および信号配線を形成し該走査配線および該信号配線の交差部ごとに該走査配線および該信号配線に接続されるスイッチング素子を形成し前記スイッチング素子に接続される画素電極を形成してスイッチング素子アレイ基板を形成し、前記スイッチング素子アレイ基板に間隙を有して対向基板を対向配置し、前記スイッチング素子アレイ基板と前記対向基板との間に液晶組成物を封入して液晶表示装置を製造するにあたり、前記走査配線を第1の金属層で形成し、前記走査配線の少なくとも一部分に前記第1の金属層とは異なる材料からなる第2の金属層を形成し、前記第1の金属層の露出した部分および前記第2の金属層の露出した部分の少なくとも表面を陽極酸化し、前記第2の金属層の陽極酸化された部分を除去して、第1の金属層または第2の金属層の陽極酸化されていない部分を表面に露出させて走査配線のコンタクト部を形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
IPC (2件)：
G02F 1/1343
, H01L 29/784
