特許
J-GLOBAL ID：200903077689211869
ユニット間基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下出 隆史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-194275
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029960
出願日： 1993年07月08日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 基板搬送に関する単位動作の数に関係なく同一のインターフェースで両ユニット間の基板搬送の同期をとるとともに、両ユニットに備えられた各制御装置の異常時に簡単な構成で制御装置の停止を図ることを目的とする。【構成】 各ユニットの電子制御装置で所定の単位動作の実行がなされると、その単位動作に要した時間だけ、中間プログラムに送る停止要求の信号と、相手方ユニットに対してインターフェース信号として出力するインターロックの信号と、相手方ユニットでその中間プログラムから制御プログラムに送る停止指令の信号とがそれぞれ順に立ち上げられ、その結果、相手方ユニットのメカ動作の停止期間が設定され、その後、続く単位動作の実行を開始する。更に、両ユニットでやり取りする第1および第2のクロック信号から相手方ユニットの制御装置の異常を検出して、その異常時に、前記停止指令の信号を制御プログラムに送る。
請求項（抜粋）：
制御装置を内部にそれぞれ備えた2つのユニット間に、基板の搬送機構を設け、両ユニットに備えられたいずれかの制御装置を用いて前記搬送機構の動作を制御するとともに、少なくとも前記搬送機構の動作を制御しない制御装置側のユニットに、前記搬送機構に基板を渡す基板渡し機構を設け、当該ユニットの制御装置を用いて前記基板渡し機構の動作を制御することにより、前記基板を一方のユニットから他方のユニットに搬送するユニット間基板搬送装置であって、前記両制御装置間に、両制御装置間で信号のやり取りを行なうインターフェース手段を設け、前記両制御装置にそれぞれ備えられた前記搬送機構または基板渡し機構の動作の制御手順を示した各制御プログラムに、前記インターフェース手段へのデータの受け渡しの手順を示した中間プログラムをそれぞれ組み込むとともに、前記各制御装置は、前記制御プログラムに従い、前記搬送機構または基板渡し機構の動作を、その機構により定まる単位動作毎に実行するとともに、その単位動作の実行時に、相手方のユニットに前記搬送機構または基板渡し機構の動作の停止を要求する停止要求を示すデータを前記中間プログラム内の変数として中間プログラム側に転送する停止要求転送手段と、前記中間プログラムに従い、前記停止要求転送手段から出力された停止要求を示すデータを受け取り、停止要求を示す信号をインターロック信号として前記インターフェース手段を介して相手方のユニットの制御装置に送信するインターロック信号送信手段と、前記中間プログラムに従い、前記相手方のユニットのインターロック信号送信手段から送信されたインターロック信号を受け取り、停止指令を示すデータを前記制御プログラム内の変数として制御プログラム側に転送する停止指令転送手段と、前記制御プログラムに従い、前記停止指令転送手段から転送された停止指令を示すデータを受け取り、該データに基づき前記搬送機構または基板渡し機構の動作を停止させるとともに、その停止指令の終了を待って前記搬送機構または基板渡し機構の動作の次の単位動作を実行する次動作実行制限手段とを備え、さらに、ユニット間基板搬送装置内に、前記両ユニットの各制御装置の異常状態を検知する異常検知手段を設けるとともに、前記各ユニットの制御装置は、前記異常検知手段により相手方のユニットの制御装置に異常状態が検知されたとき、前記停止指令を示すデータを自ユニット内の前記制御プログラム側に転送する強制停止指令転送手段を備えたことを特徴とするユニット間基板搬送装置。
IPC (2件)：
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