特許
J-GLOBAL ID：200903077689289205
大口径ルツボ反転装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-289053
公開番号（公開出願番号）：特開平10-120486
出願日： 1996年10月14日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：
【要約】【課題】 従来よりも大型なルツボであっても汚染の恐れなく、比較的簡単に反転できるルツボの反転装置を提供する。【解決手段】 ルツボの開口を下に向けて配される載置台と、ルツボの外底面の中央部を除く部分と接してルツボを固定する固定手段と、載置台を固定手段ごと転回させる転回手段と、転回手段ごと前記載置台を昇降させる載置台昇降手段とを備え、更に固定手段が、ルツボの外底面の中央部を除く部分に接してルツボを挟持する保持部材と、この保持部材を相対移動させる昇降機構を有している。
請求項（抜粋）：
内面を下方に伏せた状態で配された第1のルツボの上に第2のルツボを内面を下方に伏せた状態で重ねて載置するための載置台と、該載置台上の第2のルツボの外底面の中央部を除く部分と接して第1のルツボと第2のルツボとを載置台に固定する固定手段と、前記固定手段により前記載置台上に固定される前記第1と第2のルツボを前記載置台ごと転回させる転回手段と、該転回手段ごと前記載置台を昇降させる載置台昇降手段とを備え、前記固定手段は、第2のルツボの外底面の中央部を除く部分に接して前記載置台との間で第1のルツボと第2のルツボとを挟持する保持部材と、該保持部材を載置台に載置される第2のルツボの外面に対して相対移動させる保持機構とを有していることを特徴とする半導体単結晶製造に用いる大口径ルツボ反転装置。
IPC (6件)：
C30B 15/00
, B66F 9/14
, B66F 9/18
, C30B 15/10
, C30B 29/06 502
, H01L 21/208
C30B 15/00 Z
, B66F 9/14 Q
, B66F 9/18 N
, C30B 15/10
, C30B 29/06 502 Z
, H01L 21/208 P
