特許
J-GLOBAL ID:200903077699747864
毛管力を利用したナノ粒子配列方法およびそれによって製造されたナノ粒子アレイ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
八田 幹雄
, 奈良 泰男
, 宇谷 勝幸
, 藤田 健
, 都祭 正則
, 長谷川 俊弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-139458
公開番号(公開出願番号):特開2007-313642
出願日: 2007年05月25日
公開日(公表日): 2007年12月06日
要約:
【課題】ナノ粒子を大面積の基板上に均一に高密度で配列することが可能な、ナノ粒子の配列方法を提供する。【解決手段】チャネル構造を有するトレンチを上部基板および下部基板により形成する段階と、ナノ粒子を溶媒に分散させてナノ粒子分散液を得る段階と、前記トレンチを前記ナノ粒子分散液に接触させて毛管力によって前記チャネル構造内に前記ナノ粒子分散液を流入させる段階と、前記溶媒を蒸発させる段階と、を含むことを特徴とする、ナノ粒子の配列方法を提供する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
チャネル構造を有するトレンチを上部基板および下部基板により形成する段階と、
ナノ粒子を溶媒に分散させてナノ粒子分散液を得る段階と、
前記トレンチを前記ナノ粒子分散液に接触させて毛管力によって前記チャネル構造内に前記ナノ粒子分散液を流入させる段階と、
前記溶媒を蒸発させる段階と、を含むことを特徴とする、ナノ粒子の配列方法。
IPC (2件):
FI (2件):
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