特許

J-GLOBAL ID：200903077708244889

液体噴射記録ヘッドの製造方法

発明者： 宮川 昌士 ,  戸島 博彰 ,  大熊 典夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-203825
公開番号（公開出願番号）：特開平6-047917
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：

【要約】【目的】 安価、精密であり、また信頼性も高い高解像度(ノズルが高密度にて実装された)の液体噴射記録ヘッドを提供する。【構成】 少なくとも下記5工程、即ち、(1)インク吐出エネルギー発生素子が形成された基板上に、溶出可能な樹脂にてインク流路となる箇所にインク流路パターンを形成する工程、(2)該パターン上にネガ型感光性材料にてインク共通液室パターンを形成する工程、(3)該インク共通液室パターン上に天井部材を接合する工程、(4)インク流路となる箇所を切断する工程、及び(5)溶出可能な樹脂を溶出する工程を順次実施することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。

請求項（抜粋）：

少なくとも下記5工程、即ち、(1)インク吐出エネルギー発生素子が形成された基板上に、溶出可能な樹脂にてインク流路となる箇所にインク流路パターンを形成する工程、(2)該パターン上にネガ型感光性材料にてインク共通液室パターンを形成する工程、(3)該インク共通液室パターン上に天井部材を接合する工程、(4)インク流路となる箇所を切断する工程、及び(5)溶出可能な樹脂を溶出する工程を順次実施することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。