感光性積層材料およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳川泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-210516
公開番号（公開出願番号）：特開平7-110575
出願日： 1994年08月10日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：

【要約】【目的】パターニングなどのための露光操作を行なう際に、表面カバーシートを、感光層を損傷することなく容易に剥ぎ取ることを可能とする感光性積層材料とその製造法を提供する。【構成】矩形の基板、感光材料層、そして可撓性プラスチックシートがこの順に積層された感光性積層材料であって、感光材料層と可撓性プラスチックシートの一部が、基板の少なくとも一方の側の端部より突き出されていて、感光材料層が、その基板端部の内側の位置にて切断、分離されており、そしてその切断位置の外側の感光材料層の下面と基板端部表面との間に、プラスチックフィルムが配設されている感光性積層材料、およびその製造法。

請求項（抜粋）：

矩形の基板、感光材料層、そして可撓性プラスチックシートがこの順に積層された感光性積層材料であって、感光材料層と可撓性プラスチックシートの一部が、基板の両側の端部より突き出され、かつ感光材料層が、その基板端部の内側の位置にて切断、分離されており、そしてその切断位置の外側の感光材料層の下面と基板端部表面との間に、プラスチックフィルムが配設されていることを特徴とする感光性積層材料。

IPC (5件)：

G03F 7/004 512 , B32B 31/18 , G03F 7/11 501 , H05K 1/03 , H05K 3/06

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開昭61-279847
特開平4-344237
特開平4-223164

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審査官引用 (9件)

特開昭61-279847
特開平4-344237
特開平4-223164

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