特許
J-GLOBAL ID：200903077715645775

ウエハ保護用粘着シート

発明者：
高 橋 和 弘

高 橋 和 弘 について

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野 口 勇 人

野 口 勇 人 について

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江 部 和 義

江 部 和 義 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-111609
公開番号（公開出願番号）：特開平9-298173
出願日： 1996年05月02日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 被着体表面の微細なパターン等を破壊せずに、また、粘着剤を残すことなく被着体表面から剥離することができるウエハ研磨時の表面保護用粘着シートを提供すること。【解決手段】 本発明に係るウエハ保護用粘着シートは、基材と、その上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とからなり、前記エネルギー線硬化型粘着剤層が、官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体と、該官能基に反応する置換基を有する不飽和基含有化合物とを反応させることによって得られる、エネルギー線硬化型共重合体からなることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
基材と、その上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とからなるウエハ保護用粘着シートであって、前記エネルギー線硬化型粘着剤層が、官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体と、該官能基に反応する置換基を有する不飽和基含有化合物とを反応させることによって得られる、エネルギー線硬化型共重合体からなることを特徴とするウエハ保護用粘着シート。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321 ,  C09J 7/02 JJU ,  C09J 7/02 JLJ
FI (3件)：
H01L 21/304 321 B ,  C09J 7/02 JJU ,  C09J 7/02 JLJ
引用特許：
審査官引用 (4件)
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