特許
J-GLOBAL ID：200903077716437408
圧力変換器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-221864
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066657
出願日： 1992年08月21日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 半導体圧力センサチップと被圧力測定流体との間のゲル状の圧力伝達媒体を不要とし、従来発生していたダンピング等の種々の問題がなく、安定した出力を得ることができる圧力変換器を提供する。【構成】 側壁に圧力検出孔32を有するとともに、この圧力検出孔を囲むように側壁に設けられた溝部37を有し、流体管31と環状弾性部材38と、半導体圧力センサ33と、半導体圧力センサの出力信号を取出すフレキシブルプリント基板41と、対向する側の面に凸部44が形成されたスペーサー47と、半導体圧力センサ33を流体管31の側壁に押圧する押圧蓋43と、押圧蓋43の嵌合により生じる押圧力の不均一状態を吸収する板状弾性部材48とを備えてなり、凸部44は、その幅が溝部37の幅よりも広く、その内周は溝部37の内周より小さく、かつその外周は溝部37の外周よりも大きいものとして溝部37と同心円状に形成されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
側壁に圧力検出孔を有するとともに、この圧力検出孔を囲むように側壁に設けられた溝部を有し、さらにこの溝部より外方において前記圧力検出孔を囲むように側壁より突出した押圧蓋嵌合部を有する流体管と、前記溝部に嵌挿された環状弾性部材と、受圧面を前記圧力検出孔内に臨ませて前記押圧蓋嵌合部内に配設された半導体圧力センサと、前記押圧蓋嵌合部内に前記半導体圧力センサに接して配設され、前記半導体圧力センサの出力信号を取出すフレキシブルプリント基板と、押圧蓋嵌合部に嵌合されるとともに、前記フレキシブルプリント基板と対向する側の面に凸部が形成されており、この凸部により前記半導体圧力センサを前記流体管の側壁に押圧する押圧蓋とを備えてなり、前記凸部は、その幅が前記溝部の幅よりも広く、その内周は前記溝部の内周より小さく、かつその外周は前記溝部の外周よりも大きいものとして前記溝部と同心円状に形成されていることを特徴とする圧力変換器。
IPC (2件)：
G01L 9/00
, G01L 9/04 101
