特許

J-GLOBAL ID：200903077721108170

感光性重合体組成物及びパターン製造法及び電子部品

発明者： 山▲崎▼ 範幸
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-314100
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121998
出願日： 2001年10月11日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】本発明は、感度が高く、現像時間短縮及び、露光部の高い残膜率を維持することが可能であるためパタ-ン形状、解像度に優れるネガ型の耐熱性感光性重合体組成物を提供するものであり、該組成物の使用により解像度が高く、良好な形状のリレ-フパタ-ンの製造方法を提供するものである。さらに本発明は加熱処理によりポリイミド系耐熱性高分子となる耐熱性感光性重合体組成物及びこの組成物を用いた電子部品を提供するものである。【解決手段】(a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、(c)芳香環に直接結合した炭素上に水酸基を有する三級アルコールを少なくとも1つ以上有する化合物、並びに、(d)分子中に2個以上のアルコキシメチル基とフェノ-ル性水酸基とを有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物。

請求項（抜粋）：

(a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、(c)芳香環に直接結合した炭素上に水酸基を有する三級アルコールを少なくとも1つ以上有する化合物、並びに(d)分子中に2個以上のアルコキシメチル基とフェノ-ル性水酸基とを有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (21件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025CB25 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA01 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01