特許

J-GLOBAL ID：200903077724699489

感光性樹脂組成物

発明者： 萩尾 滋 ,  孝田 和彦 ,  上原 真一
出願人/特許権者： サンノプコ株式会社
代理人 (1件)： 船越 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262701
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072735
出願日： 1991年09月14日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】 親水性基を有するモノマーの重合体を枝ポリマーとするグラフトポリマーとアルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマーを用いることにより、アルカリ性水溶液による現像性を有し、かつ、感度、解像度、耐無電解めっき液性に優れた感光性樹脂組成物を得ることができる。【構成】 親水性基を有するモノマーの重合体を枝ポリマーとするグラフトポリマー、アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマー、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物である。

請求項（抜粋）：

A.アルキル(メタ)アクリレート [(メタ)アクリレートはメタクリレートもしくはアクリレートを表わす。以下同様。] 、アクリロニトリル、および、スチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマーの単独重合体または共重合体を幹ポリマーとし、ヒドロキシ含有(メタ)アクリレート、アミノ基もしくはアルキルアミノ基含有(メタ)アクリレート、カルボキシ基含有(メタ)アクリレート、ビニルエステル類、ビニルエーテル類、N-ビニルピロリドン、ビニルピリジン類、および、下記一般式化1で表わされるモノマーからなる群より選ばれた一種以上のモノマーの単独重合体または共重合体を枝ポリマーとするグラフトポリマー、【化1】(ただし、R1 は水素または炭素原子数が1〜3のアルキル基もしくはヒドロキシアルキル基、R2 は水素または炭素原子数が1〜4のアルキル基もしくはアシル基、または、炭素原子数が1〜4のヒドロキシ基を有するアルキル基もしくはアシル基を表わす。)B.アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマー、C.少なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有し、光重合開始剤により重合体の形成が可能な常温で液体または固体のエチレン性不飽和化合物、および、D.光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/038 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06