特許

J-GLOBAL ID：200903077733071891

ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 伊藤 敦史
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-161644
公開番号（公開出願番号）：特開2007-329435
出願日： 2006年06月09日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：

【課題】粗動ステージに対する微動ステージの軸方向及び軸まわりの回転方向の可動量を制限できるステージ装置の実現。【解決手段】互いに直交する第1軸及び第2軸により規定される水平面に対して移動可能な第1のステージ(天板120)と、前記第1のステージ上で少なくとも軸方向及び軸まわりの回転方向に移動可能な第2のステージ(天板101)とを有するステージ装置において、前記第2のステージの可動部が前記第1のステージに対して隙間を介して対向する部位に、前記第2のステージの可動範囲を制限する規制部材(1x、1y、1z)を設けた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

互いに直交する第1軸及び第2軸により規定される水平面に対して移動可能な第1のステージと、前記第1のステージ上で少なくとも軸方向及び軸まわりの回転方向に移動可能な第2のステージとを有するステージ装置において、 前記第2のステージの可動部が前記第1のステージに対して隙間を介して対向する部位に、前記第2のステージの可動範囲を制限する規制部材を設けたことを特徴とするステージ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/683

FI (2件)：

H01L21/30 503B ,  H01L21/68 N

Fターム (12件)：

5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031HA55 ,  5F031HA57 ,  5F031HA59 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA30 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ステージ装置及びその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-208550   出願人：キヤノン株式会社