特許
J-GLOBAL ID：200903077735957927
X線測定装置およびその方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 寿武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-329998
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155102
出願日： 1998年11月19日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：
【要約】【課題】 X線反射率測定やロッキングカーブ測定の時間短縮を図るとともに、簡易な構成のX線測定装置でそれらの測定を実現する。【解決手段】 微小焦点からX線を発散するX線源1と、このX線源1から出射してきたX線を反射するとともに該X線を一方向に収束するリフレクタ3と、X線源から出射してきたX線を単色化して反射するとともに該X線をリフレクタ3による収束方向とほぼ直行する方向に収束する湾曲モノクロメータ2とを備え、X線の各収束点がほぼ一致するようにリフレクタ3及び湾曲モノクロメータ2を位置決めし、かつその収束点に試料Sを配置するとともに該試料Sで反射したX線をX線検出器4により検出する
請求項（抜粋）：
X線を試料に入射し、試料で反射したX線を検出するX線測定装置において、微小焦点からX線を発散するX線源と、このX線源から出射してきたX線を反射するとともに該X線を一方向に収束するリフレクタと、前記X線源から出射してきたX線を単色化して反射するとともに該X線を前記リフレクタによる収束方向とほぼ直行する方向に収束する湾曲モノクロメータとを備え、X線の各収束点がほぼ一致するように前記リフレクタ及び湾曲モノクロメータを位置決めし、かつその収束点に試料を配置するとともに該試料で反射したX線をX線検出手段により検出する構成としたことを特徴とするX線測定装置。
Fターム (18件)：
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001EA01
, 2G001EA06
, 2G001EA20
, 2G001GA13
, 2G001JA05
, 2G001JA06
, 2G001JA08
, 2G001KA01
, 2G001KA08
, 2G001KA11
, 2G001MA05
, 2G001PA12
, 2G001SA02
, 2G001SA04
, 2G001SA07
