特許
J-GLOBAL ID：200903077741133189
回転ずれ検出方法及び回転ずれ検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-268931
公開番号（公開出願番号）：特開平11-110554
出願日： 1997年10月01日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】テンプレートの個数及び類似度演算回数を減らすことができる回転ずれ検出装置を提供する。【解決手段】回転ずれ検出装置の制御部40は、入力部50の指示を受けて正規被検査物を撮像して得た基準マークから複数個の角度点毎のテンプレートを作成し保有するテンプレート部48と、撮像部30で撮して得た被検査物の検出マークを処理する画像処理部42と、入力部50の指示を受けてテンプレート部48の少なくとも3個のテンプレートを用いて画像処理部42の検出マークに重ねて角度点毎の類似度をそれぞれ演算する類似度処理部44と、該類似度をY座標及び該類似度に対応した角度点をX座標とした各座標の点を結ぶ関数曲線(X,Y)の頂点の座標 X0を演算から求め、 該座標X0の値を被検査物の回転ずれの角度値と判定する関数頂点法20を有する角度判定部46とを具備する。
請求項（抜粋）：
正規位置にマークを付した正規被検査物を撮像して得た基準マークの画像から作成された複数個の角度点毎のテンプレートを用いて、該テンプレートを検出対象の被検査物を撮像して得た検出マークの画像に重ねて該検出マークに関する前記角度点毎の類似度をそれぞれ演算し、該各類似度値に基づき判定した当該類似度に対応する角度点の角度値から前記被検査物の回転ずれを検出する回転ずれ検出方法において、少なくとも3個の前記テンプレートと前記被検査物との前記類似度をそれぞれ演算し、該演算によって得られた各類似度(a,b,...)をY座標の点とし該類似度に対応した各角度点をX座標の点とした座標(Xa,Ya,Xb,Yb,...)をそれぞれ設定し、該各座標(Xa,Ya,Xb,Yb,...)を結ぶ関数曲線(X,Y)の頂点の座標X0を求め、該座標X0の値を前記角度値とすることを特徴とする回転ずれ検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G06F 15/62 400
, G01B 11/26 H
