特許
J-GLOBAL ID：200903077741522622
耐水性窒化アルミニウム粉末の製法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-316378
公開番号（公開出願番号）：特開平6-144808
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：
【要約】【目的】 耐水性が一段と優れた窒化アルミニウム粉末の製法で、半導体などの電子部品の封止材に有用なフィラー。【構成】 無機質皮膜の原料となる金属の化合物の蒸気を含む反応気体中で平均粒径5μm以上のAlN粉末を混合運動させながら化学蒸着させることにより、AlN粉末の表面に耐水性を有する無機質皮膜を形成する。
請求項（抜粋）：
無機質皮膜の原料となる金属の化合物の蒸気を含む反応気体中で平均粒径5μm以上のAlN粉末を混合運動させながら化学蒸着させることにより、AlN粉末の表面に耐水性を有する無機質皮膜を形成することを特徴とする耐水性窒化アルミニウム粉末の製法。
IPC (2件)：
C01B 21/072
, C09C 1/40 PAZ
