特許

J-GLOBAL ID：200903077749405706

研磨装置のワーク剥離方法及びワーク剥離装置

発明者： 吉田 明文
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 塚原 孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-085710
公開番号（公開出願番号）：特開平10-261601
出願日： 1997年03月20日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】 洗浄後のワークをオーバハングさせることなく下定盤から容易に剥離することができる研磨装置のワーク剥離方法及びワーク剥離装置を提供する。【解決手段】 ガスボンベ5から供給された炭酸ガスGをノズル4から洗浄液Wで洗浄されたウエハ100に向けて吹き付ける。すると、下定盤1の研磨パッド1aとウエハ100との間に介在する洗浄液W内に炭酸ガスGの気泡が発生し、ウエハ100に対する洗浄液Wの吸着力が減少する。

請求項（抜粋）：

研磨装置の下定盤に載置された状態で洗浄液により洗浄されたワークを上記下定盤から剥離する研磨装置のワーク剥離方法において、上記ワークを変質させないガスを、上記洗浄液の中に気泡状態で混入させる、ことを特徴とする研磨装置のワーク剥離方法。