特許

J-GLOBAL ID：200903077749970780

異常診断機能付マスフローコントローラ及びその異常診断方法

発明者： 田中 誠 ,  林 明史 ,  師井 達夫 ,  川原 博宣
出願人/特許権者： 日立金属株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-005254
公開番号（公開出願番号）：特開平6-214657
出願日： 1993年01月14日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】 全流量制御範囲内の任意の指定流量でいつでもセンサ部の目詰り等の異常の有無を診断する機能を備えたマスフローコントローラを提供すること。【構成】 流入路と、バイパス流路と、センサ流路と、流量センサと、流量制御弁と、流出路と、比較制御部とを有するマスフローコントローラにおいて、予め初期状態において、各流量値に相当する基準設定信号と基準弁駆動信号とを全流量範囲にわたって段階的に対応させた基準特性データを得て、使用中のある時点で任意に設定した診断流量に対応する基準弁駆動信号を前記基準特性データから取出し、このあるべき基準信号とセンサ部の実際の駆動信号とを比較し、この結果が許容量を越えている場合警報を表示するようにした診断機能付マスフローコントローラ。

請求項（抜粋）：

流体の流入路と、この流入路からの流体が流れるバイパス流路と、このバイパス流路から分岐し所定の分流比の流体が流れるセンサ流路と、このセンサ流路を流れる流体の流量を計測する流量センサと、前記バイパス流路とセンサ流路の流体が合流して流れる流出路と、この流出路に設けた流量制御弁と、前記流量センサで検出した質量流量信号と予め設定した質量流量設定信号とを比較し、前記流量制御弁へ弁駆動信号を出力する比較制御部とを有するマスフローコントローラにおいて、予め全流量設定範囲にわたって流量設定信号に対応する弁駆動信号を段階的に計測し、これらを基準弁駆動信号として記憶する手段と、使用状態で流量設定値を入力する手段と、この流量設定値に対応する基準弁駆動信号を読み出す手段と、この読み出した基準弁駆動信号と、このとき前記比較制御部から実際出力されている弁駆動信号とを許容量を加味して比較する比較手段と、この比較結果に応じて異常信号を表示する表示手段とを設けたことを特徴とする異常診断機能付マスフローコントローラ。