特許
J-GLOBAL ID：200903077750425419
光振動子センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-305539
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145831
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】 ノイズの影響を受けることなく高精度で温度、圧力等の測定を可能にする。【構成】 カンチレバー41と両端固定ビーム42とからなる振動子1と信号処理部3との間を光ファイバ2により接続する。光ファイバ2は、中心部に干渉計測用の光ファイバ21を配置して、その周囲に光パルス供給用の光ファイバ22を同軸上に配設して形成する。信号処理部3内のレーザダイオード32より光ファイバ22を介して振動子1へ光パルスを送り、光熱作用により振動子1に振動を発生させる。さらに、レーザダイオード31より光ファイバ21を介して振動子1へ干渉計測用のレーザ光を送り、その反射光から得られる干渉光を用いて振動子1の振動数を測定して、圧力を算出する。
請求項（抜粋）：
両持ちまたは片持ちにより支持された振動子の振動面に、光パルスを照射して共振を発生させるとともに、振動子の振動をレーザ光を用いた干渉計測により検出して振動子の振動周波数を求めることにより、振動子の振動周波数に対応する物理量を測定する光振動子センサにおいて、端面が振動子の振動面に対してほぼ垂直に支持されて干渉計測用のレーザ光を振動子に送る光ファイバと、この計測用光ファイバの近傍に配設されて振動子に光パルスを照射する光ファイバとを備えたことを特徴とする光振動子センサ。
IPC (4件)：
G01L 9/00
, G01H 9/00
, G02B 6/00
, G02B 6/04
