特許

J-GLOBAL ID：200903077756026290

露光装置、および基板チャックの冷却方法

発明者： 原 真一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-251682
公開番号（公開出願番号）：特開2003-068600
出願日： 2001年08月22日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
要約：

【要約】【課題】 基板のチャックに対する滑りを抑え、高精度かつ高スループットの露光装置、および該露光装置におけるチャックの冷却方法を提供する。【解決手段】 ウエハチャック14の温度が上昇して、ウエハ13との温度差が大きくなり、許容できない状態になった時、ウエハチャック14はチャック交換ハンドによってウエハ微動ステージ15からチャック支持台20に付け換えられる。このウエハチャック14は、チャック支持台20で温調され、基準温度に戻される。温調手段は、冷却水やペルチェ素子によって温調された温調プレートであるチャック支持台20に静電吸着によって接触させるものである。

請求項（抜粋）：

原版のパターンを基板に露光する露光装置において、前記基板を吸着固定する基板チャックを複数備え、前記基板チャックの一つは前記基板を露光するステージに載置され、前記露光装置は、前記ステージに載置されていない他の基板チャックを温度調節する温調手段を有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 R ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (25件)：

5F031CA02 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031HA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA38 ,  5F031HA50 ,  5F031HA53 ,  5F031HA60 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA32 ,  5F031JA46 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031PA06 ,  5F031PA11 ,  5F046CC01 ,  5F046CC08 ,  5F046CC13