特許
J-GLOBAL ID：200903077760128633
レーザ加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-249507
公開番号（公開出願番号）：特開平9-085480
出願日： 1995年09月27日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：
【要約】【課題】レーザ加工装置内の照射光学系にセットしたマスクの形状を、撮像した加工物表面の変調像により任意に変化させることの可能なレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ光を照射するレーザ光源10と、レーザ光を被加工物22表面に集光する照射光学系32と、被加工物22表面で反射されたレーザ光を照射光学系32から取り出す撮像光学系24と、撮像光学系24により取り出されたところの被加工物22表面で反射された反射光を撮像するカメラ26と、照射光学系内32に設けられ、レーザ光の被加工物22表面への照射形状を変更する形状可変マスク18と、カメラ26により撮像された画像に基づいて、形状可変マスク18によるレーザ光の照射形状変更動作を制御する制御装置28とを具備する。
請求項（抜粋）：
レーザ光を照射するレーザ光源と、前記レーザ光を被加工物表面に集光する照射光学系と、前記被加工物表面の映像を取り出す撮像光学系と、該撮像光学系により取り出されたところの前記被加工物表面で反射された反射光を撮像するカメラと、前記照射光学系内に設けられ、前記レーザ光の前記被加工物表面への照射形状を変更する形状可変マスクと、前記カメラにより撮像された画像に基づいて、前記形状可変マスクによるレーザ光の照射形状変更動作を制御する制御装置とを具備することを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/02
, B23K 26/06
, H01S 3/00
B23K 26/02 C
, B23K 26/06 J
, H01S 3/00 B
