特許
J-GLOBAL ID：200903077765977388
アルカリ現像装置の洗浄液と洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-226655
公開番号（公開出願番号）：特開平7-056357
出願日： 1993年08月20日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 アルカリ可溶型現像装置の洗浄液及び洗浄方法を提供する。【構成】 この洗浄液は、多価アルコール又はその誘導体、有機カルボン酸又はその塩類及び水酸化アルカリ又はアルカリ土類金属を含有する第一段階洗浄液と、無機酸を単独で或いは有機カルボン酸又はその塩類と共に含有する第二段階洗浄液とよりなる。
請求項（抜粋）：
多価アルコール又はその誘導体、有機カルボン酸又はその塩類及び水酸化アルカリ又はアルカリ土類金属を含有する第一段階洗浄液と、無機酸を単独で或いは有機カルボン酸又はその塩類と共に含有する第二段階洗浄液とよりなるアルカリ現像装置の洗浄液。
IPC (3件)：
G03F 7/30
, G03F 7/32 501
, H01L 21/027
