特許
J-GLOBAL ID：200903077770090898
薄膜電子部品
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-055336
公開番号（公開出願番号）：特開2002-260956
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：
【要約】【課題】 薄膜素子を外的環境から保護する、有効な保護膜を作製する技術を提供する。特に、素子表面の凹凸の大きな素子において有効な保護膜構成を提供し、対環境性に優れた薄膜電子部品を提供する。【解決手段】基板11上に、誘電体層13と電極層12、14とを有する薄膜素子が形成された薄膜電子部品であって、被覆性を確保する機能を有する第1の保護層15と、外的要因を遮蔽する機能を有する第2の保護層16からなる保護膜を、電極層14上に薄膜素子を完全に被覆するように形成された構造を有するものである。
請求項（抜粋）：
基体上に薄膜素子及び保護膜が順次形成された薄膜電子部品であって、前記保護膜は前記薄膜素子に接し、且つその表面が実質に平坦化した第1の保護層と、該第1の保護層を被覆する第2の保護層とから構成されていることを特徴とする薄膜電子部品。
Fターム (11件)：
5E082AB03
, 5E082BC19
, 5E082EE05
, 5E082EE26
, 5E082FG03
, 5E082FG26
, 5E082FG42
, 5E082HH21
, 5E082HH43
, 5E082KK01
, 5E082PP03
