特許
J-GLOBAL ID:200903077770851830

被処理物の移載装置およびその駆動方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大井 正彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-175940
公開番号(公開出願番号):特開平5-343499
出願日: 1992年06月11日
公開日(公表日): 1993年12月24日
要約:
【要約】【目的】 被処理物支持体に対する被処理物の移載において、被処理物が被処理物担持部材に対して所期の状態で存在することの有無を確認できる被処理物の移載装置およびその移載作業動作を確実に実行できる駆動方法を提供すること。【構成】 移載装置は、移動される移載装置本体41と、進退可能な被処理物担持部材45と、被処理物担持部材に設けられた例えば3つの超音波発振素子より成る非接触型被処理物検出センサー56とを有する。移載装置の駆動方法では、被処理物支持体から離間した状態または被処理物支持体中に挿入された状態で被処理物担持部材上に被処理物が担持されていること、あるいは被処理物支持体中に挿入された状態で被処理物担持部材に対して被処理物が所定の状態で被処理物支持体に支持されていることの有無が確認される。
請求項(抜粋):
板状の被処理物を支持する被処理物支持体に対して被処理物を移載する被処理物の移載装置において、前記被処理物支持体に正対する移載作業位置に移動される移載装置本体と、この移載装置本体に前進方向および後退方向に進退可能に設けられた、被処理物を載置状態に担持する被処理物担持部材と、この被処理物担持部材に設けられた非接触型被処理物検出センサーとを有して成ることを特徴とする被処理物の移載装置。
IPC (2件):
H01L 21/68 ,  B65G 49/07

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