特許

J-GLOBAL ID：200903077777828418

研磨治具およびこれを搭載する研磨装置

発明者： 高下 順治 ,  斎藤 憲久
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-279774
公開番号（公開出願番号）：特開平11-099471
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】 研磨治具のキャリアーのくり抜き穴等に基板が衝突して割れを生じるのを防ぐ。【解決手段】 基板W1 は、重鍾13によって平面ラップ盤1上に押圧され、回転リング11からキャリアー10を経て伝達される回転力によって回転する。キャリアー10の回転とともに基板W1 はくり抜き穴10aの側縁から側縁へ移動し、衝突を繰り返す。そこで、くり抜き穴10aの各側縁に弾性部材14を貼着しておき、前記衝突を緩和する。

請求項（抜粋）：

くり抜き穴に基板を遊合させるキャリアーと、これを回転させる回転手段を有し、前記キャリアーの前記くり抜き穴に、前記基板との衝突を緩和するための弾性部材が配設されていることを特徴とするキャリアー方式の研磨治具。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 C ,  H01L 21/304 321 H