特許
J-GLOBAL ID:200903077781371074
紫外線検出素子及び火焔センサ及び紫外線検出装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
北村 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-003634
公開番号(公開出願番号):特開平5-075157
出願日: 1992年01月13日
公開日(公表日): 1993年03月26日
要約:
【要約】【構成】 例えば火焔センサに組み込まれる紫外線検出素子であって、基板1A上にダイヤモンド薄膜1Bを形成してなるダイヤモンドからなる検知部1に、その検知部1の電気抵抗を検出するための電極2を付設してある。【効果】 ほぼ225nm以下に感度領域を有するダイヤモンドを用いることで、火焔センサに組み込まれた場合に、火焔F以外の加熱部分から放射される紫外線による悪影響を受けることなく、火焔Fが消滅したことを迅速確実に検出できる。
請求項(抜粋):
ダイヤモンドからなる検知部(1)に、その検知部(1)の電気抵抗を検出するための電極(2)を付設してある紫外線検出素子。
IPC (4件):
H01L 31/09
, G01J 1/02
, G08B 17/12
, H01L 29/16
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