特許
J-GLOBAL ID：200903077781812666
物体の表面形状生成方法および金型の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-032117
公開番号（公開出願番号）：特開平8-227007
出願日： 1995年02月21日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：
【要約】【目的】 例えば、ブレーズ形状の回折光学素子を正確に製造できる物体の表面形状生成方法を提供する。【構成】 物体の表面形状を生成するにあたり、被加工物体11上に加工層12を形成する工程と、前記加工層12を加工する工程と、前記加工層12および被加工物体11を異方性エッチングして、前記加工層12の形状を前記被加工物体11の表面に深さ方向に相似的に形成する工程とを有し、前記加工層12を加工する工程において、前記異方性エッチングによるエッチング方向と直交する面内での前記被加工物体11および加工層12のエッチングレートの分布に基づいて、前記被加工物体11の表面に所望の形状が生成されるように、前記加工層12を加工する。
請求項（抜粋）：
被加工物体上に加工層を形成する工程と、前記加工層を加工する工程と、前記加工層および被加工物体を異方性エッチングして、前記加工層の形状を前記被加工物体の表面に深さ方向に相似的に形成する工程とを有し、前記加工層を加工する工程において、前記異方性エッチングによるエッチング方向と直交する面内での前記被加工物体および加工層のエッチングレートの分布に基づいて、前記被加工物体の表面に所望の形状が生成されるように、前記加工層を加工することを特徴とする物体の表面形状生成方法。
IPC (5件)：
G02B 5/18
, B29C 33/38
, C04B 11/06
, C23F 4/00
, G02B 3/08
G02B 5/18
, B29C 33/38
, C04B 11/06
, C23F 4/00 A
, G02B 3/08
