特許
J-GLOBAL ID:200903077784937710

圧電振動板および圧電振動子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 坂上 正明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-260802
公開番号(公開出願番号):特開2002-076826
出願日: 2000年08月30日
公開日(公表日): 2002年03月15日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】圧電振動板とリッドおよびベースとの接合時に放電による不良発生を防止する。【解決手段】枠と一体に形成された圧電振動片10からなる圧電振動板30の表裏面に各励振電極60、61、62、63が形成され、励振電極60、62は接合膜70に、励振電極61、63は接合膜71に接続され、接合膜70はスルーホール100を介して反対面の同電位の接合膜に接続される。
請求項(抜粋):
圧電振動片を有する圧電振動板の、上面の外周に第1の接合膜を有し、前記圧電振動板の下面の、前記圧電振動片の基部側端部に、第2の接合膜を有し、前記圧電振動板の下面に、前記第2の接合膜に離間し前記圧電振動片の外側に形成された第3の接合膜を有し、前記第2の接合膜と、前記第2の接合膜に向かい合う前記第1の接合膜を電気的に接続するスルーホールを有する圧電振動板。
IPC (2件):
H03H 9/19 ,  H03H 3/02
FI (2件):
H03H 9/19 J ,  H03H 3/02 B
Fターム (7件):
5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108FF02 ,  5J108FF07 ,  5J108FF13 ,  5J108KK02 ,  5J108MM14
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
  • 圧電振動子及びその製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-023084   出願人:セイコーインスツルメンツ株式会社
  • 特開昭55-013553
  • 圧電振動子の電極構造
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-023089   出願人:セイコーインスツルメンツ株式会社
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