特許
J-GLOBAL ID：200903077785585826
静電アクチュエータおよびそれを用いた光ピックアップ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-138222
公開番号（公開出願番号）：特開2002-335683
出願日： 2001年05月09日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：
【要約】【課題】 開口制限素子を二次元方向に変位させ得る著しく小型化した静電アクチュエータおよびそれを用いて著しく小型化した光ピックアップを提供する。【解決手段】 基板21上に固定され第1固定電極22aを形成される第1固定部材22と、該第1固定部材に第1リンク部材23を介してX方向に変位可能に連結され第1可動電極24aおよび第2固定電極24bを形成される第2固定部材24と、第2固定部材24に第2リンク部材27を介してY方向に変位可能に連結され第2可動電極26aを形成される可動部材26とから成り、前記第1固定および可動電極間ならびに前記第2固定および可動電極間にそれぞれ所定電圧を印加することにより、可動部材26に一体形成したピンホール8を光軸に対して直交するX,Y方向に変位させる二次元駆動型静電アクチュエータ9は、マイクロマシン技術により小型に製造され、光ピックアップに用いられる。
請求項（抜粋）：
集光されたレーザスポットの略中心部を選択的に透過させる開口制限素子を一次元方向に変位させる静電アクチュエータであって、基板と、該基板上に固定されるとともに端部に固定電極を形成される固定部材と、前記基板に一次元方向に変位可能に連結されるとともに前記固定電極と対応する端部に可動電極を形成される可動部材とから成り、前記固定電極および可動電極間に所定の電圧を印加することにより、前記可動部材に一体形成した開口制限素子を光軸に対して直交方向に変位させるようにしたことを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (3件)：
H02N 1/00
, B81B 3/00
, G11B 7/135
H02N 1/00
, B81B 3/00
, G11B 7/135 Z
5D119AA09
, 5D119JA58
, 5D119MA30
