特許
J-GLOBAL ID:200903077785838813

研削装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐野 章吾 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-372369
公開番号(公開出願番号):特開2000-190189
出願日: 1998年12月28日
公開日(公表日): 2000年07月11日
要約:
【要約】【課題】 工作物外周部の面取り加工を実施する研削装置において、面取り加工用砥石のツルーイング電極の回転駆動機構と装置主軸の回転駆動機構とを共用することで、コンパクトな構成で面取り加工用砥石の機上放電ツルーイングを実現する研削装置を提供する。【解決手段】 主軸2の先端に保持された工作物Wの外周部の面取り加工を行なう外周部研削手段4を工作物Wの径方向外側に設ける。外周部研削手段4には、面取り加工用の研削溝43を備えた導電性砥石41を用い、この研削溝43の放電ツルーイング用のツルーイング電極5を上記主軸2と同軸上に配置する。これにより、ツルーイング電極5の回転駆動機構と主軸2の回転駆動機構とを共用させ、もって装置構成をコンパクトにする。
請求項(抜粋):
回転駆動機構を備えた主軸と、該主軸の先端に工作物を保持する工作物保持手段と、前記工作物保持手段に保持された工作物の外周部の研削を行なう外周部研削手段とを備えた研削装置であって、前記外周部研削手段が、少なくとも前記工作物の外周部研削用の研削溝を有する導電性砥石を備え、この外周部研削手段の導電性砥石を機上放電ツルーイングするツルーイング電極が、前記主軸の回転駆動機構によって回転可能な状態で設けられていることを特徴とする研削装置。
IPC (5件):
B24B 9/00 601 ,  B24B 53/00 ,  B24D 3/34 ,  B24D 5/00 ,  H01L 21/304 601
FI (6件):
B24B 9/00 601 G ,  B24B 53/00 D ,  B24B 53/00 J ,  B24D 3/34 A ,  B24D 5/00 P ,  H01L 21/304 601 B
Fターム (15件):
3C047AA13 ,  3C047AA26 ,  3C049AA03 ,  3C049AA19 ,  3C049CA05 ,  3C049CB03 ,  3C063AA02 ,  3C063AB02 ,  3C063AB03 ,  3C063BA24 ,  3C063BB01 ,  3C063BC01 ,  3C063BD01 ,  3C063EE29 ,  3C063FF01
引用特許:
審査官引用 (10件)
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