特許
J-GLOBAL ID：200903077788617605
表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-332344
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164702
出願日： 1991年12月17日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】 欠陥信号の影響の少ないエンベロープを生成して、正確な欠陥検出を行うことのできる表面検査装置を提供するものである。【構成】 走査ヘッドから出力される映像信号Svをハイ・パス・フィルタ1で高周波成分のみとした信号から比較電圧DC0vをクロスする位置を示すクロスパルスを、比較器2、パルス発生器3により作る。次に、このクロスパルスをトリガ-として、映像信号のレベルをホールドした信号をホールド回路5で作る。さらに、この信号を着目点に対し着目する前方に位置している過去の所定範囲に対する2次元画像として構成し、移動平均を移動平均回路7で算出して平均エンベロープを出力する。識別回路8において、この平均エンベロ-プにバイアスを加えたスライルレベル内に、映像信号を直接AD変換器9でAD変換した信号レベルが収まっているかを識別して、欠陥検出を行なう。求められた平均エンベロープは移動平均範囲に欠陥信号のレベルが入り込まず欠陥信号のレベル自体も正確な値となる。
請求項（抜粋）：
被検査面上を移動して走査されたレーザビームの反射光量を光電変換して映像信号を生成する走査ヘッドと、この走査ヘッドから出力される映像信号の高周波成分を通過させるハイパスフィルタと、このハイパスフィルタから出力されるハイパスフィルタ出力信号と予め設定された基準値とを比較し、両者の値が交差する位置に対応する一連の映像信号値からエンベロープを作成するエンベロープ作成手段と、走査ヘッドから出力される映像信号に対してエンベロープ作成手段の作成したエンベロープを基に欠陥識別を行い、欠陥識別信号を出力する欠陥識別手段とを有する表面検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/89
