特許

J-GLOBAL ID：200903077796698681

基板の位置決め方法

発明者： 高田 秀彦
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-209948
公開番号（公開出願番号）：特開平10-056298
出願日： 1996年08月08日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】 液晶パネルなどの基板の特性に応じて簡易に位置決めできる基板の位置決め方法を提供することを目的とする。【解決手段】 基板Pの下面中央部を基板保持部5で吸着して保持する第1工程と、基板保持部を移動して基板を位置決め部材9に接近させる第2工程と、位置決め部材に基板を角当てして基板の位置出しを行う第3工程と、位置出しされた基板を基板保持部に固定する第4工程とを含む。

請求項（抜粋）：

基板の下面中央部を基板保持部で吸着して保持する第1工程と、前記基板保持部を移動して基板を位置決め部材に接近させる第2工程と、前記位置決め部材に基板を角当てして基板の位置出しを行う第3工程と、位置出しされた基板を前記基板保持部に固定する第4工程とを含むことを特徴とする基板の位置決め方法。