特許

J-GLOBAL ID：200903077797217245

流体加熱装置

発明者： 大西 徹夫 ,  高松 宏昌 ,  坪田 槙雄
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 米原 正章 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-172560
公開番号（公開出願番号）：特開平6-018089
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年01月25日
要約：

【要約】【目的】 石英ガラスにて構成した加熱容器2aを用いた流体加熱装置において小型化を図ることができるようにする。【構成】 純水や薬液の加熱に用いる流体加熱装置において、加熱部2と流体供給調整部3とを箱体1内に収容し、これら加熱部2と流体供給調整部3とを箱体1内で分離し、流体供給調整部3を加熱部2の側方に配置した構成となっている。

請求項（抜粋）：

純水や薬液の加熱に用いる流体加熱装置において、加熱部2と流体供給調整部3とを箱体1内に収容し、これら加熱部2と流体供給調整部3とを箱体1内で分離し、流体供給調整部3を加熱部2の側方に配置したことを特徴とする流体加熱装置。

IPC (5件)：

F24H 1/10 ,  B08B 3/04 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306 ,  C23C 18/31

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭55-128745