特許

J-GLOBAL ID：200903077816317094

マイクロレンズアレイの検査装置

発明者： 柴田 和宏 ,  浜田 浩 ,  山谷 拓司 ,  植田 和秀 ,  四宮 時彦 ,  岩越 洋子 ,  柴谷 岳
出願人/特許権者： シヤープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-312727
公開番号（公開出願番号）：特開平5-149824
出願日： 1991年11月27日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【目的】 マイクロレンズアレイの集光効果に関する光強度分布を容易に且つ正確に測定することができるようにする。【構成】 光源1から出射された光は、マイクロレンズアレイ7を経た後基準マスク6に照射される。マイクロレンズアレイ7と基準マスク6とを透過した光の強度が、該基準マスク6の光進行方向側に配置した光検出手段としての照度計9にて測定される。一方、基準マスク6にて反射された光は、ハーフミラー4を介してCCDカメラ12にて捉えられ、その捉えられた画像に基づいて、マイクロレンズアレイ7と基準マスク6との位置関係が検出される。

請求項（抜粋）：

マイクロレンズが複数形成されたマイクロレンズアレイをセットするセット手段と、セットされたマイクロレンズアレイに向けて平行光を出射する光学系と、該光学系からの平行光が該マイクロレンズを通過した光路上に設けられた、複数の開口を有する基準マスクと、該基準マスクの各開口を通過した光の光量を検知する光検出手段とを具備するマイクロレンズアレイの検査装置。