特許

J-GLOBAL ID：200903077819458063

洗浄装置

発明者： 都川 歳一 ,  豊島 範夫
出願人/特許権者： 株式会社芝浦製作所
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-244506
公開番号（公開出願番号）：特開平9-085197
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】【課題】 従来の洗浄システムでは、廃液処理等への負荷を高めることなく、汚れの再付着を含めて各種汚れの除去性能を高めると共に、乾燥時間の短縮および乾燥品質の向上等を図ることが課題とされていた。【解決手段】 水系洗浄液12が収容された第1の洗浄槽11を有し、被洗浄物を第1の洗浄槽11で洗浄する第1の洗浄手段Aと、溶剤系洗浄液22が収容された第2の洗浄槽21を有し、第1の洗浄手段Aを経た被洗浄物を第2の洗浄槽12で洗浄する第2の洗浄手段Bとを具備する洗浄装置である。第2の洗浄手段Bを経た被洗浄物は乾燥手段Cで乾燥される。

請求項（抜粋）：

水系洗浄液が収容された第1の洗浄槽を有し、被洗浄物を前記第1の洗浄槽で洗浄する第1の洗浄手段と、溶剤系洗浄液が収容された第2の洗浄槽を有し、前記第1の洗浄手段を経た前記被洗浄物を前記第2の洗浄槽で洗浄する第2の洗浄手段とを具備することを特徴とする洗浄装置。