紫外線ランプシステム用反射器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡部正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-274905
公開番号（公開出願番号）：特開2002-175711
出願日： 2001年09月11日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】広い面積にわたって均一な紫外線放射を効率的に提供し、かつマイクロ波チャンバの最適な寸法と干渉することがなく、あるいはプラズマバルブの動作特性に悪影響を及ぼさないようになされた反射器を提供する。【解決手段】反射器はプラズマバルブを有する紫外線その他のランプシステムに用いるものである。反射器は1つ以上の細長く延在する特徴的形状を有する反射パネルを有し、バルブから放たれた紫外線放射を効果的に反射し、基板の比較的広い表面にわたって均一な照射をもたらす。各反射パネルの主要部は式(x/a)(2+n) + (y/b)(2+m) = 1により表される特徴的形状を有する。ここで、aおよびbは定数、nおよびmは約2より小さく0より大きい指数であり、nおよびmの少なくとも一方は0より大である。

請求項（抜粋）：

細長く延びるバルブを有するランプシステムに用いられる反射器であって、該反射器は細長く延びるバルブから離間して設置されるようになされており、該反射器の主要部分の湾曲はデカルト座標系において以下の式により表されることを特徴とする反射器:(x/a)(2+n) + (y/b)(2+m) = 1ここで、aおよびbは定数、nおよびmは約2より小さく0より大きい指数であり、nおよびmの少なくとも一方は0より大である。

IPC (8件)：

F21V 7/00 , B01J 19/12 , F21S 2/00 , F21V 7/22 , G02B 5/10 , G02B 5/26 , G21K 5/00 , F21Y103:00

FI (8件)：

B01J 19/12 C , F21V 7/22 E , G02B 5/10 A , G02B 5/26 , G21K 5/00 Z , F21Y103:00 , F21V 7/12 E , F21S 1/00 M

Fターム (17件)：

2H042DD06 , 2H042DE04 , 2H048FA01 , 2H048FA09 , 2H048FA16 , 2H048FA18 , 2H048FA24 , 4G075AA30 , 4G075BA04 , 4G075CA26 , 4G075CA33 , 4G075CA47 , 4G075DA02 , 4G075EB01 , 4G075EB33 , 4G075EB43 , 4G075FC04

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-030204
特開昭62-105303

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