特許
J-GLOBAL ID：200903077857222367
光学式エンコーダ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-058640
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254441
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】【目的】小型で安価で高精度な光学式エンコーダを提供する。【構成】光学式エンコーダは、面発光レーザ1と、その射出光を受けるように配置された受光素子3と、それらの間にx方向に移動可能に配置されたスケール2から構成されている。スケール2は透明基板7を有し、透明基板7の受光素子3側の面には、等しい幅の遮光部5が等間隔で設けられている。また、透明基板7の面発光レーザ側の面には、反射防止膜6が形成されている。受光素子3の受光領域4の表面には遮光膜51が形成されており、遮光膜51には一つの開口部が設けられている。遮光膜51の表面には反射防止膜52が形成されている。開口部の幅をωpd、受光素子面上に生成される明暗パターンの周期をPb 、遮光部5のピッチをPs 、スケール面上におけるビーム径をWs とすると、ωpd<Pb 、かつ、Ws >Ps の関係を満たしている。
請求項（抜粋）：
光源に対して相対的に移動し、光の反射率または透過率が周期的に変化するように形成されたスケールと、このスケールの一部を照射する面発光半導体レーザ光源と前記スケールからの反射光、透過光または回折光を受光するための受光素子を有する光学式エンコーダにおいて、受光素子の受光領域または受光窓のスケール移動方向の寸法をωpd、面発光半導体レーザ光源からスケールに照射された光ビームの反射光、透過光または回折光による受光素子の受光面上における明暗パターンのスケール移動方向の周期をPb 、前記スケールの反射率または透過率を変調させたスケール移動方向のピッチをPs 、スケール面上において光ビーム強度がピーク値の1/2になるスケール移動方向のビーム径をWs とすると、ωpd<Pb かつ Ws >Psの関係を満たすことを特徴とする光学式エンコーダ。
FI (3件)：
G01D 5/30 S
, G01D 5/30 E
, G01D 5/30 T
